Comparison of Trimethylgallium and Triethylgallium as Ga Source Materials for the Growth of Ultra thin GaN Films via Hollow cathode Plasma assisted ALD

---

ALEVLİ M., Güngör N., Özgit Akgün Ç., Haider A., Kizir S., Leghari S., ...Daha Fazla

American Vacuum Society, Portland, Amerika Birleşik Devletleri, 28 Haziran - 01 Temmuz 2015, (Özet Bildiri)

• Yayın Türü: Bildiri / Özet Bildiri
• Basıldığı Şehir: Portland
• Basıldığı Ülke: Amerika Birleşik Devletleri
• Marmara Üniversitesi Adresli: Evet