Comparison of Trimethylgallium and Triethylgallium as Ga Source Materials for the Growth of Ultra thin GaN Films via Hollow cathode Plasma assisted ALD

ALEVLİ M., Güngör N., Özgit Akgün Ç., Haider A., Kizir S., Leghari S., ...Daha Fazla

American Vacuum Society, Portland, Amerika Birleşik Devletleri, 28 Haziran - 01 Temmuz 2015

  • Yayın Türü: Bildiri / Özet Bildiri
  • Basıldığı Şehir: Portland
  • Basıldığı Ülke: Amerika Birleşik Devletleri
  • Marmara Üniversitesi Adresli: Evet