Comparison of Trimethylgallium and Triethylgallium as Ga Source Materials for the Growth of Ultra thin GaN Films via Hollow cathode Plasma assisted ALD


ALEVLİ M. , Güngör N., Özgit Akgün Ç., Haider A., Kizir S., Leghari S., ...Daha Fazla

American Vacuum Society, Portland, Amerika Birleşik Devletleri, 28 Haziran - 01 Temmuz 2015

  • Basıldığı Şehir: Portland
  • Basıldığı Ülke: Amerika Birleşik Devletleri