Substrate Temperature Influence on the Properties of GaN Thin Films Grown by Hollow cathode Plasma assisted Atomic Layer Deposition

ALEVLİ M., Güngör N., Ozgit Akgun C., Kızır S., Haider A., Leghari S., ...Daha Fazla

American Vacuum Society 15th Conference on Atomic Layer deposition, Portland, Amerika Birleşik Devletleri, 28 - 01 Haziran 2015, ss.370

• Yayın Türü: Bildiri
• Basıldığı Şehir: Portland
• Basıldığı Ülke: Amerika Birleşik Devletleri
• Sayfa Sayıları: ss.370
• Marmara Üniversitesi Adresli: Evet