Substrate Temperature Influence on the Properties of GaN Thin Films Grown by Hollow cathode Plasma assisted Atomic Layer Deposition


ALEVLİ M. , Güngör N., Ozgit Akgun C., Kızır S., Haider A., Leghari S., ...Daha Fazla

American Vacuum Society 15th Conference on Atomic Layer deposition, Portland, Amerika Birleşik Devletleri, 28 - 01 Haziran 2015, ss.370

  • Yayın Türü: Bildiri
  • Basıldığı Şehir: Portland
  • Basıldığı Ülke: Amerika Birleşik Devletleri
  • Sayfa Sayıları: ss.370