Critical Layer Thickness of GaN Thin Films on sapphire grown by hollow-cathode plasma assisted tomic layer deposition

ALEVLİ M., Gungor N.

European Materials Research Society Spring 2018, Fransa, 18 - 22 Haziran 2018

  • Yayın Türü: Bildiri / Özet Bildiri
  • Basıldığı Ülke: Fransa
  • Marmara Üniversitesi Adresli: Evet