PVD tekniği ile AITİN(aluminyum titanyum nitrür) çok katlı sert seramik kapalamaların üretimi ve karakterizasyonu


Tezin Türü: Yüksek Lisans

Tezin Yürütüldüğü Kurum: Marmara Üniversitesi, Türkiye

Tezin Onay Tarihi: 2004

Tezin Dili: Türkçe

Öğrenci: Özcan Karadayı

Danışman: SERDAR SALMAN

Özet:

Yüzey özellikleri malzeme kullanımında önemli bir kavramdır. Sürtünme, aşınma, korozyon ve optik özellikleri bir malzemenin karakteristiğidir. Malzemelerin yüzey özellikleri bir takım modifikasyonlarla geliştirilebilir. FBB (Fiziksel buhar biriktirme) yöntemi malzemelerin yüzey özelliklerinin geliştirilmesi için bir çok alanda kullanılmaktadır. Bu çalışmada ısıl işlem görmüş ve yüksek hız çeliklerinden üretilmiş takım çelikleri üzerine tek katlı ve çok katlı AlTiN (Aluminyum Titanyum Nitrür) kaplamaları uygulanmıştır. Kaplama kalınlıkları bilya aşındırması sonucunda elde edilen küresel kraterdeki boyutların geometrik bağıntı yardımı ile (calotest) hesaplanmıştır. Kaplama kalınlıkları ayrıca kaplama sertliklerinin ölçümünde de kullanılmıştır. Kaplamaların yapışma kuvveti Rockwell C ucu takılı çizik testi cihazı (scratch tester) ile yapılmıştır. Cihaz bilgisayar kontrollü olup numuneden gelen akustik ses dalgalarını ve sürtünme kuvvetlerini kaydetmektedir. Yüzey pürüzlülükleri yüzey profilometresinde ölçülmüştür. Kimyasal yapı ve faz analizi için X ışınları difraksiyonu, EDS, optik mikroskop ve GDOES sistemleri kullanılmıştır. Temmuz 2004 Özcan Karadayı ABSTRACT PRODUCTION AND CHARACTERIZATION OF MULTI LAYER AlTiN COATINGS BY PHYSICAL VAPOUR DEPOSITION TECHNIQUE. The surface characteristics are very important in materials usage. The surface characteristics affect wear, friction, corrosion and optical properties of materials. In materials performance, improvement could be obtained by surface modifications. Physical Vapour Deposition (PVD) coatings are used many in industrial areas. In this study, mono layer and multi layer AlTiN thin film coatings were applied on the 1.3343 High Speed Steel (HSS) samples which are heat treated before coating. Coating thicknesses analysis are generally carried out by using ball crater method, where the coating thickness is determined from the dimension of the spherical crater produced on the coatings surface. In addition to this, ultra micro hardness testing is used for coating hardness measurements. The adhesion is characterized by means of a newly developed scracth analyzer, equipped with a Rockwell C diamond. In a fully computer controlled experiment, the actual values of the normal load, the frictional force and the acoustic emmission signals are recorded simultaneously. Surface roughnesses are determined by surface profilometer. As for chemical structure and phase analysis; X-Ray, EDS, Optical microscope and GDOES analysis were performed. July 2004 Özcan KARADAYI