MEMS Structure for a Lamb wave Filter Design employing Aluminum Nitride Thin Film


Tezin Türü: Yüksek Lisans

Tezin Yürütüldüğü Kurum: Marmara Üniversitesi, Mühendislik Fakültesi, Elektrik ve Elektronik Mühendisliği Bölümü, Türkiye

Tezin Onay Tarihi: 2022

Tezin Dili: İngilizce

Öğrenci: Salih Çolakoğlu

Danışman: Alper Şişman