Hollow Cathode Plasma Assisted Atomic Layer Deposition of Wurtzite InN and InxGa1 xN Thin Films with Low Impurity Content

---

Haider A., Kizir S., Ozgit Akgun C., Goldenberg E., ALEVLİ M., OKYAY A. K., ...Daha Fazla

American Vacuum Society 62nd international symposium, 18 - 23 Ekim 2015, (Özet Bildiri)

• Yayın Türü: Bildiri / Özet Bildiri
• Marmara Üniversitesi Adresli: Evet