Hollow Cathode Plasma Assisted Atomic Layer Deposition of Wurtzite InN and InxGa1 xN Thin Films with Low Impurity Content

Haider A., Kizir S., Ozgit Akgun C., Goldenberg E., ALEVLİ M., OKYAY A. K., ...Daha Fazla

American Vacuum Society 62nd international symposium, 18 - 23 Ekim 2015

  • Yayın Türü: Bildiri / Özet Bildiri
  • Marmara Üniversitesi Adresli: Evet