The Role of Film Thickness on the Visible UV and Infrared Optical Properties of GaN Films Grown By Hollow Cathode Plasma Assisted Atomic Layer Deposition


ALEVLİ M. , Gungor N., Haider A., Kizir S., BIYIKLI N.

The 16th International Conference on Atomic Layer Deposition, Dublin, İrlanda, 24 - 27 Temmuz 2016

  • Basıldığı Şehir: Dublin
  • Basıldığı Ülke: İrlanda