Fabrication of Nanostructures on Highly Doped Si Substrate for Various Applications using E Beam Lithography and Reactive Ion Etching

BAKIŞ Y., YANIK S., GÜLEGÜL Z., ÖZSOY K., ŞİMŞEK Ç.

12th Nanoscience and Nanotechnology Conference, Kocaeli, Türkiye, 3 - 05 Haziran 2016

  • Yayın Türü: Bildiri / Özet Bildiri
  • Basıldığı Şehir: Kocaeli
  • Basıldığı Ülke: Türkiye
  • Marmara Üniversitesi Adresli: Evet