Fabrication of Nanostructures on Highly Doped Si Substrate for Various Applications using E Beam Lithography and Reactive Ion Etching


BAKIŞ Y., YANIK S. , GÜLEGÜL Z., ÖZSOY K., ŞİMŞEK Ç.

12th Nanoscience and Nanotechnology Conference, Kocaeli, Türkiye, 3 - 05 Haziran 2016

  • Basıldığı Şehir: Kocaeli
  • Basıldığı Ülke: Türkiye