Bu çalışmada, nanokristal ZnO, sol-jel yöntemi kullanılarak cam altlıklar üzerinde sentezlenmiş ve XRD, SEM ve AFM analizleri ile yapısal karakterizasyonları yapılmıştır. Sentezlenen nanokristal ZnO'ın kloroform sensörü olarak potansiyel uygulaması araştırıldı. ZnO nano yapıların ince filmlerinin, azot ortamında 22‒150 ºC sıcaklıkları arasında kloroform buharının konsantrasyonuna (750-15000 ppm) bağlı olarak tepkisi incelenmiştir. Gaz akış hızları, akış kontrolörü ve akış ölçerler kullanılarak kontrol edildi. Tüm ölçümler bilgisayar kontrollü olarak yapılmıştır. XRD sonuçları, cam altlık üzerindeki nano yapıdaki ZnO ince filmin kristal formda olduğunu ve 036-1451 JCPDS numarası ile karakterize edilebileceğini ortaya koydu. ZnO nano yapılarının parçacık boyutu hem SEM görüntülerinden hem de Scherrer denklemi kullanılarak belirlendi. Scherrer denklemiyle parçacık boyutları 27.9 – 50.4 nm arasında hesaplanmıştır. Sensörler, kloroform buharına karşı, ölçüm yapılan sıcaklık aralığı ve gaz konsantrasyonu aralığında, tersinir tepki gösterdi. Sensörlerin kloroform buharına karşı tepki süresi ve duyarlık değerleri de hesaplandı. Sıcaklıktaki artış duyarlık değerlerinde artışa sebep olmuştur. En iyi duyarlık 150 ºC'da elde edilmiştir.
In this study, nanocrystalline ZnO were synthesized onto glass substrates by using sol-gel method. Structural characterizations were performed by XRD, SEM and AFM techniques. Potential application of nanocrystal ZnO as chloroform sensor was investigated. Response of the fabricated thin films of the ZnO nanocrystals towards chloroform vapor was investigated depending on gas concentration (750-15000 ppm) between the temperatures of 22‒150 ºC in nitrogen ambient. Gas flow rates were controlled by using flow controller and flow meters. All the measurement system was computerized. XRD results revealed that thin film of the ZnO nanocrystals on the glass substrate was in crystal form and can be characterized by 036-1451 JCPDS number. Crystallite sizes of the ZnO nanocrystals were determined both by SEM images and the Scherrer equation. The crystallite sizes were calculated between 27.9 – 50.4 nm using the Scherrer equation. The sensors showed reversible response towards the chloroform vapor in the measured temperature and gas concentration range. Response time and sensitivity values of the sensors towards the chloroform vapor were also calculated. The increase in temperature caused to increase in sensitivity values. The best sensitivity values were obtained at 150 ºC.
