Ark fiziksel buhar biriktirme yöntemiyle ZrN kaplamaların farklı bias voltajlarında üretimi ve karakterizasyonu


Prof. Dr. OĞUZHAN GÜNDÜZ

Tez Türü: Yüksek Lisans

Tezin Yürütüldüğü Kurum: Marmara Üniversitesi, Fen Bilimleri Enstitüsü, Metal Eğitimi (Yl) (Tezli), Türkiye

Tez Danışmanı: SERDAR SALMAN

Tezin Onay Tarihi: 2005