Dumludağ F. (Yürütücü)
Yükseköğretim Kurumları Destekli Proje, 2011 - 2012
Geçiş metalli oksitlerin gösterdiği elverişli
elektriksel, optik, manyetik ve termal özellikler yıllardır bilim adamlarının
ilgisini çekmiştir. Bu metal oksit yarıiletkenler arasında vanadyum oksitleri VxOy
(VO, VO2, V2O5,.v.b...) ilginç özellikler
gösteren bir malzeme grubudur.
VxOy
ince filmlerin çok geniş uygulama alanları bulunmaktadır. Bu uygulamalar,
filmlerin elektriksel, yapısal ve optik özelliklerinin analizine dayanmaktadır.
Bu çalışmada üretilecek olan ince filmlerin hazırlanmasında kullanılacak camlar önce ultrasonik temizleyicide yıkanıp kurutulacaktır. Kaplama için gerekli çözelti ise, filmlerin farklı başlangıç maddeleri olan (vanadium (V) oxytriisopropoxide, vanadium (III) chloride, vanadium (IV) chloride, vanadyl acetylacetonate, v.b.) ve gerekli çözücüler kullanılarak sol-gel yöntemiyle hazırlanacaktır. Film kaplamak için daldırma ve spin döndürme yöntemleri kullanılacaktır. Hazırlanan filmlerin dc ve ac elektriksel karakterizasyonu, vakum ortamında (~3x10-2 mbar), K sıcaklık aralığında, optik ölçümler spektrofotometre kullanılarak atmosfer ortamında gerçekleştirilecektir. Yapısal özellikler ise XRD ölçümleri ile belirlenecektir.
Bu çalışmanın
ilk bölümünde, kaplama yöntemi
(daldırma, spin kaplama, vakum buharlaştırma, püskürtme, v.s.), ara tavlama
sıcaklığı ve süresi, kullanılan çözücüler, son tavlama sıcaklığı ve süresi gibi
etkenlerin VxOy ince filmlerin elektriksel, yapısal ve
optik özelliklerinde meydana getirdiği değişiklikler incelenecektir.
Çalışmanın ikinci bölümünde ise, filmlerin
Ti, Fe, Ni, Ce, Zn, Ta v.b. gibi elementlerle değişik oranlarda katkılanarak
katkı malzemesinin ve miktarının filmlerin yapısal, elektriksel ve optik özelliklerine
etkisinin belirlenmesi amaçlanmıştır.